MKS质量流量计GE50A013502C4V020*走货中
GE50A是通用的，弹性体密封的MFC，非常适用于各种需要流量控制能力从5 sccm到50 slm N2的应用当量。GE50A集成了比较新的数字流量控制电子设备以及久经考验的，热传感器和机械设计。
质量流量计测量原理和结构
截取一根支管，流体在其内以速度 v 从 A 端流向 B 端，将此管置于以角速度 ω 旋转的系统中。由于管内流体质点在轴向以速度 v，在径向以角速度 ω运动，此时流体质点受到一个切向 Fc。这个力作用在测量管上，在作用点两边方向相反，大小相同，为:Fc =2ωvδm。Fc 就是科氏力 。
质量流量计是以科氏力为基础，传感器内部有两根平行 T 型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，流体介质流经传感器振动管，就会使振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装振管两端拾振线圈将产生相位不同两组信号，这两个信号差与流经传感器流体质量流量成比例关系。通过测量并计算这两个信号差就可以得到质量流量。
2 影响质量流量计测量的因素
影响质量流量计测量的因素有很多，如仪表的基本误差，零点稳定度、重复性误差，这些误差可以从质量流量计的设计和制造方面来修正。质量流量计在安装和使用过程中也会产生一定的误差，如周围环境强烈的机械振动，液体介质夹气，流量计不满管等，都会影响质量流量计的测量。从质量流量计的工作原理可知，它是基于振动的原理进行测量的仪表，而外界的机械振动所产生的谐振波势必会干扰仪表自有的振幅和频率，影响测量精度。因此在初期应规范仪表的安装，尽量避免有机械振动的地方，远离泵房、机组等振动源。安装时采用无应力安装，流量计前后直管段应安装固定支架。
机械振动的因素通过规范安装是可以避免的，但在实际生产中，由于工艺介质的因素导致质量流量计测量不准的现象时有发生。以下结合中海油惠州炼化 228 单元汽车装车质量流量计的使用情况，分析介质因素对质量流量计测量的影响。
3 系统集成及数据采集方案228 单元液化气汽车装车鹤位构成如图 1，液化气自灌区来，经过两台泵加压，输送至距灌区 600 m远的 228 单元 6 个液化气装车鹤位。装车过程为:液化气由液相管线经流量计计量后输送至汽车槽车内，在开始装车后前 3 min，批量发油控制器(批控器)控制液相调节阀在 50% 开度，3 min 后阀门全开。由于槽车初始压力低，液化气在进入槽车后有气化现象，槽车内气相由气相线经气相质量流量计计量后返回装置。
GE50A数字控制MFC可提供模拟或数字I / O。数字化控制电子器件采用比较新的MKS控制算法，可提供快速，可重复的功能在整个设备控制范围内对设定点的响应。典型的响应时间在500毫秒的量级。
MKSDA01A.1TGAS24AH0
MKSGE50A015103RBVO2O/氧气/10000SCCM
MKSGE50A029204R5B020NH320SLM/1020497A
MKS51B11TGA2BA.75
MKS226A-29554
MKSMODEL:631C01TMFH
MKS626C11TDE
MKSMKS100006842
MKS901P-11030
MKSMFC;1179A01522CR1AV-K;O2;200sccm
MKSTYPE 626
MKSRANGE:30000 SCCM 12
MKSGE50A007104S4V020(H2)
MKSGE50A015502S4V020(O2)
MKSGE50A028102S4V020(CH4)
MKS021962527
MKS021917581
MKS624f53tcecb 5000torr 1/2英寸VCR母头
MKS870b12pcd4gd1 100psis 1/4英寸VCR母头
MKS690a53trb 5000torr 1/4英寸vcr母头
MKS100312706
MKS103250010
MKS925c-11010
MKSMKS 1/W-L-24V.max.24v/DC/1A/50W
MKSMKS/GV202/20305416
MKS0248A-14128
MKSGE50A 1000SCCM
MKSPR4000B Channels S(单通道） Digital interface 2 (通讯接口RS232） Transducer input :(0-10)V Power supply:2(15V大电流供电）
MKSMF1C01352CSAVO N2 Range:500sccm -MKS
MKS626C13TBE
MKS626C11TBE
MKSGM100A
MKS627B12TDC1B100T088
MKS627B01TBC1B
MKS1479A01324CS1 BM20000SCCM
MKSAA01A21MGAS3B00000
MKS0248A-10000SV
MKSModel:1579A01315CS14V601 SN:G565916G20
MKS1179BX53CR14NSPC1 3000sccm/NH3
MKS626C11TDE
MKSGE50A004502S4V010
MKS154-0100P
MKS901P-11030
MKSGE50A013501R4V020
MKSSERIRAL:017848238 MODLE:627B12TDC18
MKS1179BX53CR14NSCP1 3000 SCCM
MKS1179BX23CR14VSPC1 1000 SCCM
MKSSFAKP90B4/2000A
MKS021944200 41B11DGA2BA000
MKS022101514 51B11TGA2BA010
MKSSFAKP90B4/2000A
MKSSFAKP90B4/2000A
MKS121AA-5000-B
MKSRS-485 3000SCCM
MKSRS-485 3000SCCM
MKS722B12TFB2FA
MKS722B12TFB2FA
MKS649A-22636
MKS021847258
MKS622B11TDE
MKSP2A013201RAT1
MKSFU251 直流24V
MKSMFC 1000SCCM 硅烷
MKS622 PRESSURE
MKS628D11TDE1B 010480100
MKS154-0100P
MKS627B11TBC1B
MKS275806-EV
MKS722B13TCE2FA
MKS722B11TGA2FA
MKS141A-32044
MKS141AA-01000DB
MKS627B11TBC1B
MKSM100B06323CS1BV
MKS627B11TBC1B
MKS910-11030
MKS627B01TBC1B
MKS627B12TDC1B
包括数字校准，可产生设定点精度的1%在校准气体上。 GE50A的模拟和数字I / O可以轻松用于替换与1179A MFC相同的I / O类型。所有GE50A均包含Modbus。辅助I / O(不包括PROFINET®和EtherCAT®)。
GE50A利用3sccm的MFC比较常使用的标准3英寸占位面积到50 slm的流量范围，无需修改现有的气体管线即可使用配置。 GE50A的设计采用了比较少的弹性体。有仅一个外部弹性体密封件和弹性体阀塞。
否则，所有湿润的表面是金属的。 GE50A标配Viton®密封件以及Buna选件，Neoprene®，EPMD或Kalrez®允许设备使用需要以下气体之一的气体备择方案。 GE50A MFC具有常闭型或常开型阀。
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