mks比例阀驱动器1249B华东区销售
  mks比例阀驱动器全量程压力测量作为单个模拟输出信号或通过可选的串行RS-485或DeviceNet?数字接口提供。取决于提供了三个可选的设定点继电器，可以将它们配置为用于过程控制在整个真空范围内的任何压力下分配继电器的能力。该系列392 Micro-Ion Plus可以带或不带显示屏，并且可以配置为宽各种法兰。第二代Micro-Ion Plus具有集成的仪表组件电子存储器包含工厂校准信息。电存储器由控制器使用模块可为新的和替换的仪表提供工厂级的校准精度，并跟踪量规的使用信息，以便MKS服务团队可以快速了解您的应用程序环境。微型Pirani Conductron提供更高的精度通过在量规范围内进行更好的热管理。
运动控制系统可以根据被测器件以多种方式定制。图1显示了光纤对准系统的不同配置，从简单的单通道单侧设置到更复杂的双面多通道设置，其中包括机器视觉、点胶/固化以及上下料等。其他设置可能包括水平和垂直波束的输入和输出。每种配置都需要一组*的运动控制产品，这取决于该器件所需的性能。 
微离子ATM现在共享一个通用平台以提高产品质量通过大批量制造。
在宽广的真空范围内进行精确测量通常需要多个仪表组件，另外真空端口，相关的电气接口和控制系统。 Micro-Ion Plus全范围真空模块将多个传感器组合到单个规格的管中连接到高级控制电子模块创建紧凑的模块化量规设计接口要求，并降低总体成本所有权，同时增强真空测量性能。下一代Micro-Ion Plus结合了通过30年的真空计获得的知识设计和现场安装，以及我们广泛的与原始设备制造商（OEM）合作终用户客户。 高性能，全系列紧凑的单个真空端口中的真空测量拥有成本低的设计，请选择系列392 Micro-Ion Plus或从我们的所有MKS系列中进行选择压力测量解决方案。
特点与优势：

?连续压力测量高真空

?紧凑的多传感器量规设计

?消除了两个独立的需求量规

?双电离规灯丝增加设备正常运行时间

?电离规激活自动化和停用

?可选的模拟，RS-485或DeviceNet介面

?RS-485和DeviceNet具有可选用于过程控制的设定点继电器

?可选的法兰配置

?现场可更换量规，低拥有成本

?电子量规管存储器可确保放置的准确性和可重复性量规

?改进的微型皮拉尼导体准确性

?利用第二代产品Granville-Phillips真空吸尘器的30年量规设计经验

?由MKS服务支持计划支持

模拟输出

对数压力，0.5至7.0 VDC，0.5 V /十倍

RS-485串行接口

数字通信接口2线半双工

通信格式ASCII：无奇偶校验，一个停止位

波特率1200、2400、4800、9600、19200（默认），38400

地址0-63，使用地址开关和RS-485命令选择

DeviceNet接口

消息轮询的I / O和显式

数据速率125、250或500 kbaud，可选开关

地址0-63，使用低和高地址开关选择

工作温度10°至40°C（50°至104°F），无冷凝

储存温度-40°至+ 70°C（-40°至+ 158°F）

烘烤温度蕞高105°C（221°F），已拆下电子设备

电离规发射电流自动调整范围
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自动离子规控制设置（默认）

2x10 -2 Torr的电离规； 2.66x10 -2毫巴;压力降低时为2.66 Pa

电离规关闭3x10 -2托，3.99X10 -2 mbar;压力增加时为3.99 Pa

切换到高发射5X10 -6 Torr； 6.66X10 -6毫巴; 6.66X10 -4 Pa，压力降低

切换至低辐射1x10 -5托； 1.33x10 -5毫巴; 1.33X10 -3 Pa，压力升高

电离计脱气电子轰击； 3瓦1分钟/单丝

电离规长丝钨或钇包覆的铱

灯丝操作请参见注释（7）交替（默认为氧化钇），自动，手动（默认为钨丝）

热损失传感器线镀金钨

规格体积10.8厘米3（0.65英寸3）

LED指示灯模块状态

I / O连接器

RS-485 /模拟15针D-sub公头

DeviceNet 5针微型连接器

大浪涌电流

RS-485 / Analog 2 A，48W，持续0.5秒

所需功率

RS-485 /模拟24 VDC + 10％至-15％，1 A，22W;

DeviceNet 24 VDC±15％（20.4V时1.5A），30W峰值时3.0A

可选的显示图形LCD

可选的设定点继电器RS-485或DeviceNet：2个SPDT（NO / NC）或3个SPST（NO），每个都可以独立设置

继电器触点额定值

30 VDC时大1 A，电阻负载

5 VDC时小5 mA，电阻负载

重量728.5克（25.7盎司）（2.75扁平接头）

表壳材料铝挤压粉末涂层

真空304不锈钢，钽，钨，氧化钇涂覆的铱，氧化铝，CuAg共晶，

Kovar?，镀金或镍的Kovar硼硅酸盐玻璃
机械运动平台由电磁电机驱动的电动平台通常用于生产环境中，以实现对准过程的自动化。通常具有亚微米量级的最小步进和重复定位精度，而使用这些平台可大大提高通信器件的质量和性能。精密光纤对准系统中常用的驱动技术包括：

带直接读取编码器的直线运动平台——当搭配XPS-D运动控制器一起使用时，XMS直线运动平台具有1nm MIM能力的最高精度等级。XMS可以快速、轻松地搜索一个直径10μm区域内的最高峰值。图4显示了使用XMS平台进行五轴调整的双侧多通道配置系统。
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