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京南华建特气柜制定结构
更新时间:2023-04-21   点击次数:264次

京南华建特气柜制定结构

特气柜主要用要供应特种气体,如易燃,易爆,剧毒等,主要用于半导体和LED的新兴行业。

本实用新型涉及一种气体的供气装置,特别涉及一种应用在半导体、微电 子、光电等行业内工艺制程中使用到的易燃易爆、有毒有害、腐蚀性等特种 气体最合适的钢瓶储存、安全稳定供气的特气柜。

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背景技术:

科技在不断前进,技术不断革新,因此半导体和新能源产业也随之蓬勃发 展,作为工业的血脉气体,得到了更广泛的利用。

气体由于其本身的物理和化学性质,决定了其在工业中被广泛利用同时,

也伴随了很高的危险性;气体有毒性的,腐蚀性的,可燃性的,其无论是哪 一种都会对人造成致命的危害,因此对于气体钢瓶的储存、使用及输送便提 出了很高的要求.对于气体的使用不仅是在安全的可靠性,还有就是对于输 送到工艺设备时怎样满足工艺的要求。

因此特别需要一种符合上述要求的特气柜。

◆按瓶数分类:单瓶柜(架)/二瓶柜(架)/三瓶柜(架)

◆按操作方式分类:手动、半自动。

◆气路配件,接头、阀门等全部是进口电子级材料,管道为316L,自动轨道焊接。

◆气路设计合理完善,工作管路具备抽空、回充、压力指示等功能,气瓶柜留有排气口,并具有负压检测 。

◆气瓶柜箱体采用安全设计,所选用的材料适用于各种不同性质的气体,美观,紧凑,安全,质优价廉,可按照客户要求定制。

◆完善的安全报警装置,具有气体泄漏检测报警(如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警)报警信号被触发时,自动切断。

特气柜主要应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上,应用于半导体、太阳能电池、生物工程、微电子等行业

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